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  • 新一代曝光光刻机UV KUB 3

  • UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统,可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘,可以进行不同模式的曝光 光刻,如软接触或硬接触模式;同时配备了高精密 的位移台,辅以双 CCD 成像系统,可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。
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新一代曝光光刻机UV KUB 3


UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统,可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘,可以进行不同模式的曝光 光刻,如软接触或硬接触模式;同时配备了高精密 的位移台,辅以双 CCD 成像系统,可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。

特色


  • UV LED 光源
  • 设计紧凑,操作简单
  • 高精度 365nm +/- 5nm 单色光光源
  • 可进行软接触和硬接触曝光光刻(含
  • 压力测量传感器)
  • 兼容目前市场上的全部光刻胶
  • 分辨率: < 1µm
  • 手柄自动巡航对位,对位精度: 1µm

 

主要性能


  • 365nm 单色 LED 光源,带宽小于 10nm
  • 图像辅助的自动巡航 PAD 操作对准定位系统
  • 采用高光强 LED 冷光源,避免光源发热引起的温度
  • 变化干扰,提高光刻面均匀性;
  • 光源寿命大于 10000 小时,减少维护及使用成本;
  • 可调节 UV 光强
  • 友好的触摸屏操作界面,可编程光刻工艺;
  • 无需预热,快速开始进入工作状态;
  • 全封闭紫外曝光区域,保障操作人员的安全;
  • 半自动晶圆上下料系统
  • 低功耗,节能环保

 

性能指标


  • 最小光刻尺寸 1µm
  • 对位精度 1µm
  • 紫外光源波长 365nm +/- 5nm
  • 光源光强 35mW/cm² +/- 10%
  • 光刻区域工作温度变化 < 1°C
  • 工艺时间 (连续/非连续模式) From 1s to 1h
  • 可保存光刻工艺数量 无限制
  • 外形尺寸 475x480x515mm
  • 总重量 55kg / 121lbs
  • 触摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
  • 供电电源 100V/240V –
  • 50Hz/60Hz
  • 功耗 180 Watts
  • 2020-UVKUB3-product-sheetCN.pdf

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    2021-05-28 14:24:53
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